檢漏儀按原理分5類，核心是捕捉泄漏帶來的壓力、氣體、聲波、紅外、真空信號變化，以下是通俗原理與適用場景：

一、氦質譜檢漏儀

原理：以氦氣為示蹤氣體→被檢件抽真空 / 充氦→漏孔處氦氣進入→質譜儀電離→按質荷比篩選氦離子→測離子流強度算漏率。

特點：靈敏度非常高（可達 10?12 Pa?m3/s），抗干擾強。

用途：半導體、真空器件、航空航天、精密密封件。

二、壓力 / 差壓式氣密性檢漏儀

原理：向密閉工件充入氣體→穩壓→監測壓力降 / 差壓變化→按理想氣體方程算泄漏率。

分支：壓力衰減、差壓、流量、真空衰減。

特點：成本低、速度快、適合批量檢測。

用途：汽車零部件、閥門、電池包、家電殼體。

三、超聲波檢漏儀（快速定位）

原理：氣體 / 液體高速泄漏產生湍流超聲波（>20kHz）→探頭接收→濾波放大→聲光報警定位。

特點：非接觸、可在嘈雜環境定位。

用途：壓縮空氣 / 燃氣管道、真空艙、門窗密封、壓力容器巡檢。

四、紅外/氣體傳感器檢漏儀（特定氣體）

原理：

l NDIR 紅外：氣體吸收特征紅外波長，測光強變化算濃度。

l 催化 / 電化學：與目標氣體反應，輸出電信號。

用途：制冷劑（鹵素）、SF6、天然氣、氫氣、可燃 / 有毒氣體泄漏。

五、真空檢漏儀（負壓系統）

原理：工件抽真空→監測真空度變化或示蹤氣體進入量→判斷泄漏。

用途：真空爐、鍍膜機、真空管道、電子管。

快速選型

l 微漏、高精度→氦質譜

l 批量氣密性→壓力/差壓

l 現場快速找漏點→超聲波

l 特定氣體（冷媒、SF6、燃氣）→紅外/氣體傳感器

l 真空設備→真空檢漏

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