一、前言

真空設備在半導體、鍍膜、科研實驗、化工工藝等領域應用廣泛，真空系統泄漏是現場最常見故障。泄漏會造成極限真空達不到指標、抽真空時間變長、工藝成品率下降，嚴重時直接造成生產停機。掌握常見漏氣點位與排查思路，可以大幅縮短設備檢修時間。

二、真空系統常見易泄漏位置

1. 法蘭連接部位 KF、CF、ISO 法蘭是真空管路常用的連接結構。

· KF 法蘭：密封圈變形、O 圈老化、法蘭面磕碰劃傷、卡箍沒有鎖緊到位；

· CF 金屬法蘭：銅密封墊圈重復使用、法蘭密封面存在劃痕、螺栓扭力不均勻；

· ISO 大法蘭：密封膠圈老化、定位錯位、壓緊力不足。

1. 波紋管、金屬軟管 波紋管反復彎折、疲勞裂紋、焊接焊縫缺陷，外表裂紋肉眼不一定可見，屬于隱蔽漏點。

2. 閥門部位 真空閥閥桿密封、波紋管組件、法蘭接口；長期開關磨損，內部密封件老化，會出現內漏以及外漏。

3. 真空計、傳感器、校準漏孔接口 各類真空規、壓力傳感器、校準漏孔的螺紋 / 法蘭接口，拆裝過后密封圈漏裝、擠壓破損，是高頻漏點。

4. 泵組接口 分子泵、干泵、旋片泵進出口法蘭；泵軸封、油密封部位，泵體結合面密封失效。

5. 焊接焊縫 管路焊縫、腔體焊接處，存在砂眼、虛焊，微小焊縫漏肉眼很難識別。

6. 腔體本身與可拆卸部件 腔體觀察窗、蓋板、手孔、電極貫穿件、饋通部位，密封件老化松動。

三、泄漏區分：外漏與內漏

1. 外漏：外界大氣通過縫隙進入真空系統，最常見；檢漏儀噴氦，漏率會明顯上升。

2. 內漏：閥片、密封件破損，閥門兩側腔室互相竄氣；外部噴氦沒有反應，需要切換閥門狀態分段測試。

提示：還要區分虛漏，材料放氣、吸附氣體釋放，并不是真實泄漏，不要誤判為漏氣故障。

四、快速排查實操步驟

1. 目視初檢 檢查全部法蘭、卡箍、密封圈，查看有無明顯損傷、松動、密封圈缺失，法蘭面有無磕碰劃痕。

2. 靜態升壓粗判是否存在泄漏 關閉所有進氣，把系統抽到目標真空，隔離真空泵組，記錄壓力隨時間上升曲線。

· 壓力持續快速上漲，確認存在泄漏；

· 壓力緩慢趨于平穩，大概率為材料放氣虛漏。

1. 分段隔離法縮小漏點范圍 利用系統各個閥門，把整個真空系統切割成多個獨立腔體，分別做升壓測試，定位到哪一段管路 / 腔體存在泄漏，縮小排查范圍，減少后續檢漏工作量。

2. 氦質譜檢漏儀精確定位漏點 采用噴氦法，從上游到下游依次對法蘭、焊縫、閥門、傳感器接口噴吹氦氣，觀察檢漏儀漏率讀數變化；讀數跳變位置即為漏點。

實操小要點：優先排查拆裝過的部位，80% 泄漏出現在拆裝維護過的接口。

五、漏點處理對策

1. 密封圈老化、變形：直接更換全新密封件；

2. 法蘭密封面劃傷：拋光修復或者更換法蘭；

3. 卡箍、螺栓：均勻鎖緊，按照規范扭力緊固；

4. 焊縫砂眼：補焊后再次檢漏復測；

5. 閥門內漏：維修或者更換真空閥門。

六、日常維護預防泄漏

1. 裝配前檢查密封面、密封圈，避免雜質顆粒夾在密封面之間；

2. CF 銅墊圈盡量一次性使用；

3. 拆裝真空部件做好防護，避免磕碰劃傷密封面；

4. 定期巡檢波紋管、閥門密封組件，提前更換老化件。

七、總結

真空泄漏故障，優先靜態升壓判斷有無泄漏，分段隔離縮小范圍，再用氦質譜檢漏儀精準定位。大部分泄漏來自接口密封件損傷、裝配不到位，做好裝配維護，能夠大幅降低泄漏故障概率。