INFICON英?？?/span>單壓力殘余氣體分析儀（Transpector® APX ALD）

實(shí)時(shí)減少?gòu)U品，提高產(chǎn)量

INFICON Transpector APX是用于半導(dǎo)體和顯示器制造過(guò)程監(jiān)控市場(chǎng)優(yōu)秀的殘余氣體分析儀 (RGA)。INFICON 深知半導(dǎo)體和顯示器客戶有著獨(dú)特的需求，Transpector APX 的新的修訂版在保持行業(yè)優(yōu)秀的測(cè)量速度和靈敏度的同時(shí)，提供了更大的靈活性以滿足特定的應(yīng)用要求。Transpector APX是用于 ALD、CVD、PVD 和蝕刻等半導(dǎo)體工藝的理想 RGA 過(guò)程監(jiān)控器。

下一代 Transpector APX ALD 單壓入口系統(tǒng)設(shè)計(jì)用于在 ALD 或 PECVD 等容易產(chǎn)生顆?；蛲繉拥闹瞥袒瘜W(xué)中生存。這允許在所有關(guān)鍵工藝步驟中進(jìn)行連續(xù)監(jiān)測(cè)，以捕獲數(shù)據(jù)點(diǎn)。此外，入口溫度可控，可抵御腐蝕性氣體，這對(duì)于腔室清潔終點(diǎn)監(jiān)測(cè)應(yīng)用至關(guān)重要。

優(yōu)勢(shì)

l 針對(duì)特定應(yīng)用的平臺(tái)設(shè)計(jì)，為您的ALD或CVD工藝提供最長(zhǎng)的使用壽命，實(shí)現(xiàn)很好的晶圓和面板保護(hù)以及工藝優(yōu)化

l ALD準(zhǔn)備就緒，測(cè)量速度超過(guò)每秒550個(gè)數(shù)據(jù)點(diǎn)

l 由于采用高性能泵系統(tǒng)，工廠占地面積減少 30%，安裝更加簡(jiǎn)便

l 溫控入口采用 INFICON 涂層，用于離散壓力入口，可承受苛刻的腐蝕性化學(xué)物質(zhì)

l 自動(dòng)校準(zhǔn)確保傳感器與傳感器、工具與工具腔室匹配的長(zhǎng)期數(shù)據(jù)可靠性和準(zhǔn)確性

l Transpector APX 與 FabGuard® 軟件集成后成為*的過(guò)程監(jiān)控和診斷工具，并由 INFICON 應(yīng)用專家提供支持

INFICON英福康單壓力殘余氣體分析儀（Transpector® APX ALD）

技術(shù)參數(shù)

杭州域勢(shì)科技有限公司專注于為工業(yè)及科研客戶提供流量、壓力、真空檢測(cè)及控制相關(guān)的技術(shù)服務(wù)及解決方案，公司代理經(jīng)銷美國(guó)ALICAT、瑞士Vogtlin、美國(guó)MKS、日本EBARA等品牌，結(jié)合代理的產(chǎn)品為客戶提供優(yōu)質(zhì)的流量及壓力監(jiān)控解決方案，旨在提高客戶的研發(fā)及生產(chǎn)效率、改進(jìn)客戶制造工藝、推動(dòng)客戶科研及創(chuàng)新進(jìn)度。