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產(chǎn)品中心INFICON英福康MPHINFICON英福康Transpector四極桿質(zhì)譜儀
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
INFICON英福康Transpector四極桿質(zhì)譜儀（MPH）專門用于讓您的系統(tǒng)在所有氣體分析應(yīng)用中都實(shí)現(xiàn)業(yè)內(nèi)優(yōu)秀的性能，有助于最大限度地提高芯片產(chǎn)量，降低工具停工時(shí)間。
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產(chǎn)品分類| 品牌 | INFICON/美國(guó) | 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子/電池,航空航天 |
INFICON英福康Transpector四極桿質(zhì)譜儀（MPH）
持續(xù)上升的硅晶圓價(jià)格以及對(duì)成品的需求意味著廢棄晶圓需要付出很高的代價(jià)。因此，在半導(dǎo)體制造中心了解過(guò)程并監(jiān)測(cè)缺陷也變得更加重要。Transpector MPH 氣體分析系統(tǒng)專門用于讓您的系統(tǒng)在所有氣體分析應(yīng)用中都實(shí)現(xiàn)業(yè)內(nèi)優(yōu)秀的性能，有助于最大限度地提高芯片產(chǎn)量，降低工具停工時(shí)間。Transpector MPH 兼具總擁有成本低和平均故障間隔時(shí)間長(zhǎng)的優(yōu)點(diǎn)，在幫助您贏利方面的作用優(yōu)于市面上的任何其他殘余氣體分析儀 (RGA)。
INFICON 利用在氣體分析過(guò)程控制設(shè)備領(lǐng)域的專長(zhǎng)制造的 RGA 具有行業(yè)優(yōu)秀的數(shù)據(jù)采集速度，可檢分壓強(qiáng)和信噪比很低。所有這些特性都不會(huì)犧牲 INFICON Transpector 氣體分析儀一貫出色的可靠性。
功能
l 最大模擬掃描和選定峰值的數(shù)據(jù)速率為每點(diǎn) 1.8 ms
l TCP/IP 以太網(wǎng)連接
l 雙絲極
l 可現(xiàn)場(chǎng)更換電子倍增器
l 組合陽(yáng)極、陰極和反射極絲極套件
l 較短的傳感器可降低安裝占地面積
l 九個(gè)數(shù)量級(jí)的動(dòng)態(tài)量程
l <2E-15 Torr 的 MDPP（100 amu）
l 信噪比更高
l 可調(diào)換傳感器和電子元件
l 傳感器在潔凈室環(huán)境中裝配、測(cè)試并進(jìn)行雙層包裝
l 符合 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)
INFICON英福康Transpector四極桿質(zhì)譜儀（MPH）
技術(shù)規(guī)格
型號(hào) | MPH100M | MPH100F | MPH200M | MPH200F | MPH300M | MPH300F |
質(zhì)量范圍 | 100 amu | 100 amu | 200 amu | 200 amu | 300 amu | 300 amu |
最小可檢測(cè)分壓 | 2E-15 Torr | 3E-13 Torr | 3E-15 Torr | 4E-13 Torr | 4E-15 Torr | 5E-13 Torr |
靈敏度 (FC) | 6E-4 A/Torr | 6E-4 A/Torr | 5E-4 A/Torr | 5E-4 A/Torr | 4E-4 A/Torr | 4E-4 A/Torr |
靈敏度 (EM) | 500 A/Torr | NA | 500 A/Torr | NA | 250 A/Torr | NA |
最大工作壓力 | 5E-4 Torr | 5E-4 Torr | 5E-4 Torr | 5E-4 Torr | 5E-4 Torr | 5E-4 Torr |
杭州域勢(shì)科技有限公司專注于為工業(yè)及科研客戶提供流量、壓力、真空檢測(cè)及控制相關(guān)的技術(shù)服務(wù)及解決方案，公司代理經(jīng)銷美國(guó)ALICAT、瑞士Vogtlin、美國(guó)MKS、日本EBARA等品牌，結(jié)合代理的產(chǎn)品為客戶提供優(yōu)質(zhì)的流量及壓力監(jiān)控解決方案，旨在提高客戶的研發(fā)及生產(chǎn)效率、改進(jìn)客戶制造工藝、推動(dòng)客戶科研及創(chuàng)新進(jìn)度。
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