Sens4智能皮拉尼真空計（VPM-5）

非常好的真空測量技術

VPM-5 智能皮拉尼真空傳感器基于優秀技術，可提供好的性能，并通過將導熱真空計的可用真空測量范圍擴展10到30年，建立了新的性能標準。

通過集成MEMS隔膜傳感器，消除了熱導率計在粗真空范圍內的氣體依賴性，該傳感器提供了與更昂貴的電容壓力計相當的精度性能。測量與氣體類型和濃度無關，增強了測量的信心，并確保了對真空系統通風過程的更精確控制，這有助于防止真空系統超壓。

實時壓力讀數

集成顯示器可在1×10^-6 至1333mbar的整個測量范圍內即時、一目了然地顯示實時真空壓力。

針對具有挑戰性的工業應用進行了優化

對于傳感器可能暴露在腐蝕性或侵蝕性氣體中的應用，SmartPirani™可提供保形保護涂層，作為有效的屏障。

在某些真空過程中，顆粒物會損壞真空計。對于這些應用，SmartPirani™傳感器配有保護擋板，可以阻擋宏觀顆粒。結合保護涂層選項，新型SmartPirani™傳感器專為惡劣的真空環境而設計。

                 帶防護擋板的VPM-5傳感器

Sens4智能皮拉尼真空計（VPM-5）

特點：

l 超寬測量范圍

從1.0E-6到1333mbar

l 耐腐蝕性

可選陶瓷或聚對二甲苯傳感器保護

l 氣體獨立測量

精密隔膜傳感器的使用范圍為2至1333mbar

l 高性價比

適用于各種真空應用的優秀性能

行業應用和市場焦點

VPM-5 SmartPirani™專為優良真空過程的可靠測量和控制而設計，適用于工業和科學領域的廣泛應用。VPM-5配置有多種選擇，可滿足各種應用的不同要求。

l 氫氣供應

測量和監測儲氫罐和供應管線中的絕緣真空。

l 半導體

半導體應用中的CVD、PVD和前線真空測量。可提供陶瓷耐腐蝕傳感器。

l 質譜儀

利用質譜儀儀器中VPM-5提供的低壓測量能力。

l 太空模擬

在模擬太空惡劣環境時測量真空氣體壓力。  

l PVD 涂層

VPM-5具有可維修的擋板保護，可在物理氣相沉積（PVD）涂層應用中使用并延長使用壽命。

l 熔爐

在真空熱處理過程中測量和控制真空度。可選擋板和涂層保護，適用于工業應用。