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產品簡介
KEY HIGH壓電真空流量閥（PEV-1）專為高真空系統研發的壓電式高精度微量比例進氣閥，核心采用壓電陶瓷彎曲驅動元件，通過 0~100VDC 電壓線性控制閥門開度，實現 0~500SCCM 氣體流量連續精準調節，適配真空腔體 PID 閉環恒壓控制場景。
| 品牌 | KEY HIGH | 重量 | 0.8kg |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 化工,半導體,機械設備 |
KEY HIGH壓電真空流量閥（PEV-1）
閥體內置壓電陶瓷彎曲元件，輸入直流電壓后壓電片產生微米級形變，抬起密封墊片形成可控通氣縫隙：
1. 0V 電壓：壓電片復位，閥口全密封關閉；
2. 20~30VDC：達到開啟閾值，閥門開始微量通氣；
3. 20~100VDC 區間：電壓與流量呈穩定線性關系，電壓越高、流通量越大；
4. 斷電工況：無電壓輸入自動復位關閥，故障安全設計，保護真空腔體工藝環境。 配套標準 BNC 同軸接口輸出控制信號，驅動電流＜10μA，超低功耗無發熱，無機械撞擊、無顆粒析出，滿足潔凈真空制程要求。
1. 超快響應速度：僅 2ms 毫秒級響應，壓力調節無超調，腔體壓強穩定精度高；
2. 線性精準流量控制：0~500SCCM 全程線性調節，適配微量精密進氣工藝；
3. 斷電安全常閉：失電自動關閥，防止工藝氣體泄漏，保障產線安全；
4. 高潔凈不銹鋼閥體：304 不銹鋼真空兼容材質，無雜質析出；
5. 極低漏率：原廠氦檢漏率＜1×10??scc/sec，適配高 / 超高真空工況；
6. 前置 2μm 過濾保護：入口標配精密過濾器，阻擋粉塵雜質，延長閥片壽命；
7. 多管路接口可選：1/4"卡套 Swagelok、1/4" 外牙 VCR、FNPT 螺紋多種接頭；
8. 簡易維護可調：頂部微調螺絲可校準開啟閾值，密封件、過濾器均可單獨更換。
三、KEY HIGH壓電真空流量閥（PEV-1）
參數項目 | 詳細規格指標 |
產品型號 | PEV-1（標準款）、PEV-1-VCR（VCR 接頭款） |
驅動方式 | 壓電陶瓷彎曲驅動（無機械連桿） |
控制電壓 | 0~100VDC，開啟閾值 20~30VDC，最大耐壓 100VDC |
驅動電流 | ＜10μA，低功耗不發熱 |
流量量程 | 0~500 SCCM（入口 1atm、25℃標準工況） |
響應時間 | ≤2ms，調節無壓力超調 |
最大入口壓力 | 50 PSI |
關閉漏率 | ＜1×10?? scc/sec（1atm 壓差氦檢） |
閥體材質 | 304 不銹鋼 |
密封材料 | Viton 氟橡膠 |
過濾配置 | 入口內置 2μm 精密過濾器 |
電氣接口 | 標準 BNC 同軸接頭（Kings KC-79-117） |
流體介質 | 干燥、無腐蝕潔凈工藝氣體（氬氣、氮氣、氧氣等） |
工作環境溫度 | +10℃ ~ +60℃ |
動作特性 | 故障安全常閉（失電全關） |
整機重量 | 約 800g |
外形總長 | 4-5/8 英寸，高度 2-3/16 英寸 |
流通方向 | IN 入口 → OUT 出口（單向流通） |
1. PEV-1：標配 1/4" Swagelok 卡套接頭壓電閥
2. PEV-1-VCR：1/4" 外牙 VCR 金屬密封接頭款
1. PEV-1-001：Viton 密封墊片維修包
2. PEV-1-002：2μm 入口替換過濾器
3. PEV-1-003：10 英尺 RG-188 配套 BNC 控制線
4. PEV-1-004：1/4"FNPT 入口 + 1/2" 外徑管道出口轉換接頭
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