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產品簡介
HTC日揚氣動矩形門閥(GR系列)也叫矩形真空閘閥,廣泛用于真空腔體矩形通道通斷,采用氣動驅動結構,閥板密封采用 Viton O 型圈,具備低漏率、長壽命,配置位置反饋傳感器,可實現自動化控制,分為鋁合金閥板(GRA 系列)、不銹鋼閥板(GRS 系列)兩大系列,多種通徑規格可選,適配高真空工況。
| 品牌 | HTC日揚 | 重量 | 18kg |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 能源,半導體,機械設備 |
HTC日揚氣動矩形門閥(GR系列)

1. 極低泄漏率:漏率可達 1×10?? mbar?L/s,滿足高真空系統使用要求;
2. 長使用壽命:循環壽命可達 100 萬次,運行穩定可靠;
3. 氣動快速開關:開關響應快,小規格開閉時間≤1s,大規格≤2s;
4. 閥板兩種材質可選:A6061T6 鋁合金、SUS304 不銹鋼,適配不同工藝氣體、潔凈度需求;
5. 標配位置傳感器:實時反饋閥門開 / 關狀態信號,支持自動化設備聯鎖控制;
6. 密封件 Viton 氟橡膠,耐多數化學腐蝕,耐溫性能優異;
7. 安裝靈活,氣缸支持向上、向下兩種安裝方向;電磁閥支持多電壓規格選配;
8. 結構緊湊,占用設備空間小,配套標準安裝緊固件,方便現場裝配。
· 真空鍍膜行業:磁控濺射、PVD 鍍膜、光學鍍膜設備腔體隔離;
· 半導體與光伏設備:工藝腔室真空通道隔斷、傳片腔體;
· 科研真空設備:實驗室真空腔體、束線設備、高真空測試系統;
· 鋰電新能源:真空烘烤、注液、化成設備真空管路通斷;
· 化工真空設備:高真空工藝管路、真空爐、熱處理真空設備;
· 檢漏設備、氦檢系統,真空腔體隔離切換。
HTC日揚氣動矩形門閥(GR系列)
型號 | 料號 | 閥板材質 | D | D1 | D2 | D3 | 開關時間 | 閥板密封 | 重量 (kg) |
GRA32222D | GR014514 | A6061T6 | 222 | 32 | 239 | 48 | 開≤1 關≤1 | Viton | 9 |
GRA46236D | GR024514 | A6061T6 | 236 | 46 | 253 | 62 | 開≤1 關≤1 | Viton | 9.5 |
GRA50336D | GR034514 | A6061T6 | 336 | 50 | 352 | 66 | 開≤1 關≤1 | Viton | 10 |
GRA56496D | GR044514 | A6061T6 | 496 | 56 | 512 | 72 | 開≤2 關≤2 | Viton | 11.5 |
GRS32222D | GR014614 | SUS304 | 222 | 32 | 239 | 48 | 開≤1 關≤1 | Viton | 11 |
GRS46236D | GR024614 | SUS304 | 236 | 46 | 253 | 62 | 開≤1 關≤1 | Viton | 12 |
GRS50336D | GR034614 | SUS304 | 336 | 50 | 352 | 66 | 開≤1 關≤1 | Viton | 14 |
GRS56496D | GR044614 | SUS304 | 496 | 56 | 512 | 72 | 開≤2 關≤2 | Viton | 18 |
項目 | 參數值 |
使用壽命 | 一百萬次 |
泄漏率 | 1×10?? mbar·L/s |
耐溫閥體 | <90℃ |
耐溫驅動模塊 | <60℃ |
壓力范圍 | 1×10?? mbar 至 1.0 bar |
驅動壓力 | 57 Kg/cm2 |
氣管接口 | Φ6 mm |
標準密封 | 閥板:Viton O 型圈 |
位置傳感器(標配) | DC424 (V) 或 AC4240 (V),540 mA |
電磁閥(選配) | DC24(V),AC24(V),AC110(V),AC220(V) |
安裝位置 | 氣缸向上、向下 |
1. 螺絲:M8×45L
2. 定位銷:銷 Φ10×15L