技術文章
Technical articles
站內搜索:
product
產品分類15796516293
更新時間:2026-07-20
點擊次數:127

全金屬真空閥是適配真空環境(超高真空度 10?? Pa ~ 10?12Pa)的專用閥門產品,閥體、閥芯、密封件全部不含橡膠等彈性體材料,依靠具備微量形變能力的金屬材料完成密封,屬于金屬硬密封真空閥品類。
全金屬角閥憑借耐高低溫、強耐腐蝕、超高密封穩定性三大核心優勢,是工業場景、精密科研設備的核心配套部件,主流應用場景包含半導體制造、高能物理實驗等領域。 產品三大核心性能優勢:
1. 超高密封性能 采用 316L、鈦合金等高強度全金屬基材,依托 VATRING 硬對硬金屬密封工藝,搭配無氧銅金屬墊片替代傳統橡膠密封圈,可反復啟閉密封,氣體泄漏抑制穩定性遠超普通橡膠密封閥。
2. 寬域耐高溫性能 整體無任何有機彈性密封部件,金屬基材可承受微量形變不破壞密封結構,穩定運行溫度區間覆蓋 - 200℃~400℃,適配設備高溫烘烤工藝。
3. 強耐腐蝕、抗輻射特性 304L/316L 不銹鋼高鉻鎳基材可抵御強酸、強堿、鹽霧持續腐蝕;可按需做表面鍍層改性,可選鐵氟龍涂層、鍍銀、Weh 納米涂層等,進一步強化密封面抗腐蝕、抗輻射能力。
選型需結合現場真空度、工作溫度、介質腐蝕性、壓差工況匹配材質與參數,優先選用模塊化、高可靠性原廠產品,選型維度分為 4 類:
· 不銹鋼基材(304L、316L):通用款,適配腐蝕介質、輻射工況,同時兼顧高低溫耐受能力;
· 功能性鍍層:鐵氟龍、Weh 納米涂層,提升密封面耐磨、抗腐蝕性能。
· 泄漏率:超高真空標準工況要求泄漏區間 10?? Pa ~ 10?12Pa;
· 烘烤溫度:按照設備制程烘烤工藝溫度對應選型;
· 壓力壓差:確認設備運行最大壓差參數;
· 啟閉壽命:閥門額定開關次數,對應設備使用周期。
· 法蘭接口:標配 CF-R 可旋轉法蘭,無橡膠輔助密封,半導體設備集成兼容性強,管道規格按需匹配;
· 驅動方式:手動驅動性價比高,適合低頻操作;氣動驅動適配自動化產線、高頻啟閉場景。
優先選擇行業成熟、原廠配套售后體系完整的品牌,設備故障時可快速更換備件,縮短停機損耗;優選密封件可單獨更換的分體式結構,降低長期維保耗材成本。
日揚科技為真空設備零部件自研生產廠商,主營真空閥門、真空腔體等核心組件,全系全金屬閥門通過行業專業認證,大量配套行業頭部客戶設備,支持非標定制,售后體系完整。 旗下全金屬真空閥門產品線:手動直角閥、Y 型閥、mini 微型閥、全金屬插板閥。

日揚科技全金屬角閥

日揚科技自研量產標準款全金屬直角閥,適配 CF 法蘭超高真空管路。

標準常規尺寸:CF16、CF35、CF63; 支持非標特殊規格定制。