HTC 日揚科技自研全金屬插板閥適配超高真空工況（真空度 10??Pa～10??Pa），采用自研 HTC Disc 金屬密封技術，工作壓力區間覆蓋 UHV～1.2bar (abs)，最小泄漏率可達<1×10?1? mbar·L/s，密封性能穩定可靠。 產品按啟閉結構分為手動式、氣動式兩類；支持選配 shielding 射頻屏蔽功能，耐溫區間 150℃~250℃。產品已批量落地國內大科學裝置研究、表面分析、半導體制造項目，多臺設備裝機實測，產品穩定性得到行業驗證。

一、產品核心優勢

· 啟閉動作平穩，可實現管路超高真空可靠隔離

· 全金屬無彈性體結構，耐極限高低溫、抗電離輻射

· 可選配 RF/waveguide shielding 射頻屏蔽模塊

· 可作為微波傳輸管路專用隔離閥使用

二、主流型號規格：CF35、CF63、DF78

全金屬插板閥大量應用于高能物理實驗室場景，設備運行時需要阻斷射頻信號外泄 / 外界信號干擾，保障粒子束傳輸穩定，因此閥體制備支持射頻屏蔽定制。 評判高性能全金屬插板閥核心指標：極低漏率、耐高溫、高潔凈度、抗輻射、長使用壽命、運行穩定。 日揚科技自主完成 CF35、CF63、DF78 全金屬插板閥研發量產，是國內少數實現該類真空閥門核心技術自主突破的廠商。 產品全部在 Class6 千級無塵室完成生產裝配，潔凈度滿足超高真空嚴苛要求。

三、落地應用案例

2020 年，日揚科技與 SHINE 項目達成合作，配套國內硬 X 射線自由電子激光裝置項目，攻克全金屬插板閥金屬硬密封、高精度定位兩大關鍵技術難點，樣機順利交付投產。 該款帶射頻屏蔽功能的全金屬門閥裝配于超導加速器電子束流通道，長期運行在超高真空、超潔凈、液氦低溫、射頻場、電離輻射疊加的復雜工況。 項目落地后，團隊持續迭代優化 CF35、CF63 標準尺寸閥門性能；其余非標尺寸同步開發迭代，持續優化各項性能參數，實現真空閥門國產替代，為國內大科學裝置研發配套提供國產化解決方案。

四、主流產品實拍型號說明

1. CF35 RF 氣動全金屬插板閥

2. CF63 氣動全金屬插板閥