產(chǎn)品中心
Product Center
站內(nèi)搜索：
當(dāng)前位置：首頁
產(chǎn)品中心MKSMKS真空計(jì)925MKS微型皮拉尼真空計(jì)
產(chǎn)品簡介
MKS微型皮拉尼真空計(jì)（925）是一種基于獨(dú)特 MEMS（微電子機(jī)械系統(tǒng)）真空傳感器的熱導(dǎo)真空計(jì)。
product
產(chǎn)品分類| 品牌 | MKS/美國 | 價(jià)格區(qū)間 | 5千-1萬 |
|---|---|---|---|
| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 能源,電子/電池,制藥/生物制藥,汽車及零部件 |
MKS微型皮拉尼真空計(jì)（925）
925微型皮拉尼真空傳感器是一種基于獨(dú)特 MEMS（微電子機(jī)械系統(tǒng)）真空傳感器的熱導(dǎo)真空計(jì)。925微型 Pirani™ 提供模擬電壓輸出、數(shù)字接口和用于過程控制的設(shè)定點(diǎn)繼電器。
ljue對(duì)測量范圍從10-5Torr到大氣壓
lMicroPirani傳感器能夠承受空氣沖擊或振動(dòng)造成的損壞
l模擬、RS232、RS485 和 EtherCAT® 版本
l可選的集成觸摸屏顯示用于當(dāng)?shù)貕毫χ甘?/span>
l三個(gè)可選的過程控制設(shè)定點(diǎn)繼電器
MKS微型皮拉尼真空計(jì)（925）
技術(shù)參數(shù)
數(shù)字通信 | RS485/RS232 (4800到230400波特) | 模擬輸出分辨率 | 16位 |
傳感器 | MicroPirani™（MEMS 熱導(dǎo)率） | 繼電器觸點(diǎn)額定值 | 1 A @ 30VAC/DC，電阻性 |
繼電器 | 3個(gè)繼電器 SPDT（可選） | 中繼響應(yīng) | <100 毫秒 zui大 |
安裝方向 | 任何 | 電源要求 | 9到30伏直流電， zui大1.5瓦 |
測量范圍 | 1.0 x 10-5 Torr到大氣壓 | 準(zhǔn)確性 | 5x10-4到 10-3 Torr，讀數(shù)的 ±10% |
設(shè)定點(diǎn)范圍 | 5.0 x 10-4 Torr到500Torr | 重復(fù)性 | 10-3 到 100 Torr ± 2% 的讀數(shù) |
校準(zhǔn)氣體 | 空氣，氬氣，氦氣，氮?dú)猓瑲錃猓魵猓趸迹瘹猓蕷?/span> | 超壓限制 | 3000 Torr jue對(duì)值 |
工作溫度 | 0°到40°C (32°到104°F) | 內(nèi)部容積 | (KF16) 2.80 毫升 |
zui高烘烤溫度 | 85°C (185°F)，非工作溫度 | 暴露材料 | 304不銹鋼，硅，SiO2，Si3N4，金，Viton®，低出氣環(huán)氧樹脂 |
數(shù)字控制 | 零調(diào)整，氣氛調(diào)整，壓力單位，波特率，地址，工廠默認(rèn)，氣體類型；設(shè)定點(diǎn)功能：值，滯后，方向，啟用模擬輸出傳感器狀態(tài)，開關(guān)，LED測試 | 電子外殼和法蘭 | 304不銹鋼 |
數(shù)字狀態(tài) | 壓力讀數(shù)和單位，設(shè)定點(diǎn)，操作時(shí)間，傳感器溫度，用戶標(biāo)簽，型號(hào)，設(shè)備類型，序列號(hào)，固件和硬件版本部件編號(hào)，制造商 | 重量 | 170 克 (KF 16) |
模擬輸出 | 1到9 VDC，zui大輸出阻抗100Ω，1 volt/decade | 合規(guī) | CE |
功能
925 轉(zhuǎn)換器提供了從 1x10-5torr到大氣壓的廣泛測量范圍，其基于熱導(dǎo)率的測量。MicroPirani 傳感器由一個(gè)帶有加熱電阻元件的硅芯片組成，該元件形成腔體的一個(gè)表面。芯片上的蓋子形成腔體的另一個(gè)表面。由于傳感器的幾何形狀，腔體內(nèi)無法發(fā)生對(duì)流，因此傳感器對(duì)安裝位置不敏感。氣體分子僅通過擴(kuò)散到達(dá)加熱元件，在此測量氣體的熱損失。
像所有的熱導(dǎo)率傳感器一樣，925對(duì)氣體類型敏感。為了補(bǔ)償氣體依賴性，MicroPirani 具有多種常見的氣體校準(zhǔn)，可以通過數(shù)字接口進(jìn)行選擇。這使得它成為在真空系統(tǒng)中定位中到小泄漏的簡單解決方案。校準(zhǔn)氣體包括：空氣、氬氣、氦氣、氮?dú)狻錃狻⑺魵狻⒍趸肌㈦瘹夂湍蕷狻?/span>
925 還具有 1VDC/decade 的模擬壓力輸出，可以與外部模擬設(shè)備連接，用于壓力讀取或控制。其他模擬輸出和曲線可以通過數(shù)字用戶界面進(jìn)行選擇。
925最多可以有三個(gè)機(jī)械繼電器，可用于過程控制，例如聯(lián)鎖閥或泵。
可選的集成觸摸屏顯示器可以由用戶配置；用戶可以更改壓力單位、方向，并且可以訪問設(shè)定點(diǎn)參數(shù)以及氣體類型。該顯示器還顯示可用設(shè)定點(diǎn)繼電器的狀態(tài)。在高對(duì)比度顯示屏上，可以從5米外清楚地看到單個(gè)傳感器的壓力讀數(shù)或組合讀數(shù)。
杭州域勢科技有限公司專注于為工業(yè)及科研客戶提供流量、壓力、真空檢測及控制相關(guān)的技術(shù)服務(wù)及解決方案，公司代理經(jīng)銷美國ALICAT、瑞士Vogtlin、美國MKS、日本EBARA等品牌，結(jié)合代理的產(chǎn)品為客戶提供優(yōu)質(zhì)的流量及壓力監(jiān)控解決方案，旨在提高客戶的研發(fā)及生產(chǎn)效率、改進(jìn)客戶制造工藝、推動(dòng)客戶科研及創(chuàng)新進(jìn)度。
上一個(gè)：
返回列表
