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產品簡介
HTC日揚連桿式氣動插板閥（GVB-SS-CF），采用標準 CF 超高真空法蘭，焊接波紋管主軸密封、金屬密封圈閥蓋密封；氣動氣缸驅動連桿機構，實現閥門自動開關動作，無油無潤滑，低放氣，支持烘烤，滿足 UHV 超高真空工況。分為 CF35、CF50 兩種小型通徑規格，廣泛用于科研束線、真空鍍膜、半導體、分析儀器等高真空系統管路自動通斷隔離。
| 品牌 | HTC日揚 | 電動機功率 | 0kW |
|---|---|---|---|
| 重量 | 5.2kg | 應用領域 | 航空航天,半導體 |
產品特點
1. 金屬密封 + 焊接波紋管主軸密封：閥蓋無氧銅金屬密封，波紋管作為動密封，無填料、無油脂，極低放氣，實現超高真空，閥體可烘烤。
2. 連桿式傳動結構：連桿驅動閥板，受力均勻，密封重復性高，開關動作穩定。
3. 氣動氣缸驅動：自動化開關，可搭配位置傳感器反饋閥門開關狀態，對接 PLC 控制系統。
4. 標準 CF 超高真空法蘭接口，行業通用標準，互換性好；法蘭需要按規定扭矩緊固，保障金屬密封漏率。
5. 全不銹鋼閥體結構，抗腐蝕，適配潔凈、非腐蝕性工藝氣體環境。
6. 結構緊湊小巧，設備內部狹小空間方便安裝布局。
· 科研真空設備：同步輻射束線、實驗室超高真空腔體、電子束實驗裝置；
· 真空鍍膜行業：PVD 磁控濺射、電子束蒸發設備超高真空管路隔斷；
· 半導體設備：超高真空工藝管路、樣品傳輸腔體；
· 分析儀器：掃描電鏡、表面分析設備真空回路通斷；
· 氦檢檢漏系統、航天配套真空設備。
型號 | 料號 | 接口直徑 | 法蘭 O.D | 螺栓 P.C.D | 螺栓尺寸 * 數量 | 扭矩 (kg-cm) | 螺紋深度 |
GVB-SS-CF35-P | GB3A311 | 37.5 | 69.5 | 58.7 | M6*6 | 170 | 10 |
GVB-SS-CF50-P | GB3B311 | 50 | 86 | 72.4 | M8*8 | 210 | 13 |
型號 | 料號 | A | B | C | D | E | F | G | H | L |
GVB-SS-CF35-P | GB3A311 | 45.4 | 52 | 53 | 63 | 90 | 88 | 119 | 135 | 254 |
GVB-SS-CF50-P | GB3B311 | 56 | 56 | 53 | 81 | 104 | 123 | 167 | 154 | 321 |
重要提示：CF 法蘭螺栓務必按照上表扭矩緊固，保證金屬密封漏率性能。
項目 | 參數 |
驅動方式 | 氣動氣缸驅動（連桿式） |
主軸密封 | 焊接金屬波紋管 |
閥蓋密封 | 無氧銅金屬密封圈（UHV 超高真空） |
法蘭標準 | CF 超高真空法蘭 |
公稱通徑 | DN35、DN50 |
工作壓力范圍 | 1×10?1? mbar ~1bar（大氣壓） |
驅動氣源壓力 | 5-7?Kg/cm2 |
烘烤溫度 | 閥體最高 200℃，氣缸部分＜80℃ |
適用介質 | 潔凈空氣、非腐蝕性干燥工藝氣體 |
可選配置 | 位置反饋傳感器、電磁閥 |
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