HTC日揚連桿式手動插板閥（GVB-SS-CF）

產品特點

1. 金屬密封 + 波紋管動密封：閥蓋采用金屬密封圈密封，主軸焊接波紋管密封，無填料、無潤滑，實現真正超高真空，放氣率低，可烘烤處理。

2. 連桿式傳動結構：連桿機構驅動閥板，開關動作穩定可靠，閥板受力均勻，密封重復性好。

3. 標準 CF 超高真空法蘭接口，兼容行業通用 CF 法蘭標準，安裝互換性強。

4. 手動驅動操作，操作簡便，自帶開關位置直觀指示；按規定螺栓扭矩緊固，保障法蘭密封性能。

5. 全不銹鋼閥體，剛性強，抗腐蝕，適配潔凈真空、非腐蝕性工藝氣體環境。

6. 小型緊湊體積，占用空間小，適合設備內部狹小空間布局。

行業應用

· 科研院所：同步輻射、電子束設備、實驗室超高真空腔體、束線系統；

· 真空鍍膜：PVD、電子束蒸發、磁控濺射超高真空管路通斷；

· 半導體設備：超高真空工藝管路、樣品傳輸系統；

· 分析儀器：電子顯微鏡、表面分析設備真空管路隔斷；

· 航天、檢漏設備、氦檢系統超高真空回路開關。

HTC日揚連桿式手動插板閥（GVB-SS-CF）

型號規格參數表

外形尺寸參數（單位：mm）

重要提示：CF 法蘭螺栓必須嚴格按照上表扭矩緊固，保證金屬密封的漏率性能。

通用性能要點（UHV 超高真空關鍵參數）