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產品簡介
HTC日揚鋼珠式手動插板閥（GVBB-SS-CF-M），CF 法蘭接口，波紋管結構、金屬密封圈密封，適用于超高真空工況，閥體全金屬密封，泄漏率低，操作穩定，廣泛用于科研實驗、半導體、真空鍍膜等真空管路通斷控制。
| 品牌 | HTC日揚 | 電動機功率 | 0kW |
|---|---|---|---|
| 重量 | 20.8kg | 應用領域 | 鋼鐵/金屬,航空航天,半導體 |
產品特點
1. 全金屬密封：金屬密封圈密封，可達超高真空等級，耐烘烤，放氣率低
2. 波紋管結構：隔離大氣與真空腔體，杜絕外漏，真空性能穩定
3. 鋼珠式傳動結構：啟閉順滑，操作力矩小，閥板鎖緊可靠
4. CF 標準法蘭：符合真空行業 CF 法蘭標準，通用性強，方便管路對接
5. 不銹鋼閥體：抗腐蝕，耐高溫，可烘烤除氣，適配嚴苛真空工藝環境
l 半導體設備
l 真空鍍膜設備
l 科研實驗真空腔體
l 航天真空測試
l 冶金真空爐
l 材料制備真空系統
參數項目 | 參數值 |
驅動方式 | 手動（鋼珠式鎖緊） |
密封形式 | 金屬密封圈 + 金屬波紋管密封 |
法蘭標準 | CF 超高真空法蘭 |
工作壓力范圍 | 1×10?1? ~ 1000?mbar |
極限真空 | 1×10?1??mbar |
允許開啟最大壓差 | 27?mbar |
最大承受背壓 | 1 bar（大氣壓） |
泄漏率 | ＜5×10?1? mbar·L/s |
閥門通道 | 直通式，單向流動 |
適用介質 | 潔凈氣體、無顆粒潔凈介質、超高真空環境 |
關閉狀態烘烤溫度 | 150℃ |
開啟狀態烘烤溫度 | 200℃ |
驅動部位最高溫度 | ≤80℃ |
閥體材質 | 不銹鋼 |
型號 | 料號 | 接口 直徑 | 閥蓋密封 | 法蘭 O.D. | 螺栓 P.C.D. | 螺栓尺寸 * 數量 | 扭矩 (kg-cm) | 螺紋 深度 |
GVBB-SS-CF63-M | GB3C411 | 63.7 | 金屬 | 113.6 | 92.1 | M8*8 | 210 | 18 |
GVBB-SS-CF100-M | GB3E411 | 102 | 金屬 | 151.6 | 130.3 | M8*16 | 210 | 20 |
GVBB-SS-CF150-M | GB3F411 | 200 | 金屬 | 253.2 | 181 | M8*20 | 210 | 22 |
GVBB-SS-CF200-M | GB3G411 | 200 | 金屬 | 253.2 | 231.8 | M8*24 | 210 | 24 |
GVBB-SA-CF275-M | GB3H411 | 255 | 金屬 | 336.3 | 306.3 | M10*30 | 360 | 24 |
型號 | 料號 | A | B | C | D | E | F | G | H | L |
GVBB-SS-CF63-M | GB3C411 | 65 | 68 | 70 | 107 | 143 | 158 | 207 | 160 | 367 |
GVBB-SS-CF100-M | GB3E411 | 69.6 | 68 | 70 | 146 | 182 | 222 | 297 | 160 | 457 |
GVBB-SS-CF150-M | GB3F411 | 79 | 70 | 78 | 204 | 238 | 306.5 | 407 | 183 | 590 |
GVBB-SS-CF200-M | GB3G411 | 84.4 | 70 | 78 | 245 | 282 | 382 | 506 | 183 | 689 |
GVBB-SA-CF275-M | GB3H411 | 98 | 75 | 99 | 321 | 360 | 500 | 650 | 340.5 | 990.5 |
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