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產品簡介
HTC日揚鋼珠式氣動插板閥（GVBB-SS-CF-P），采用 CF 超高真空法蘭連接，波紋管 + 金屬密封圈密封結構；閥體為不銹鋼材質，泄漏率低，可烘烤，廣泛應用于各類超高真空系統，用來實現真空管路通斷，是真空鍍膜、半導體、科研真空設備常用真空閥件。
| 品牌 | HTC日揚 | 電動機功率 | 0kW |
|---|---|---|---|
| 重量 | 22.2kg | 應用領域 | 半導體,機械設備 |
1. 鋼珠鎖緊結構，啟閉穩定，定位可靠；氣動驅動，適合遠程自動化控制
2. 全金屬密封 + 金屬波紋管，極低漏率，可承受烘烤，適配超高真空工況
3. CF 標準法蘭，真空行業通用標準，拆裝方便
4. 直通式流道，流阻小，通導性能優異
5. 閥體不銹鋼材質，耐潔凈氣體腐蝕，無釋氣污染
l 半導體真空設備
l 真空鍍膜
l 科研實驗室超高真空系統
l 真空檢測
l 氦檢檢漏設備
l 材料真空熱處理
l 真空分析儀器
參數項目 | 參數值 |
驅動方式 | 氣動 |
密封形式 | 金屬密封圈 + 金屬波紋管密封 |
法蘭標準 | CF 超高真空法蘭 |
工作壓力范圍 | 1×10?1? ~1000 mbar |
極限真空 | 1×10?1? mbar |
泄漏率 | ＜5×10?1? mbar·L/s |
流動方向 | 單向 |
通道類型 | 直通式 |
適用介質 | 潔凈氣體，超高真空環境，無顆粒潔凈介質 |
閥體材質 | 不銹鋼 |
烘烤溫度 | 關閉 150℃；開啟 200℃ |
型號 | 料號 | 接口 直徑 | 閥蓋密封 | 法蘭 O.D. | 螺栓 P.C.D | 螺栓規格 * 數量 | 扭矩 (kg-cm) | 螺紋深度 | 參考 凈重 |
GVBB-SS-CF63-P | GB3C511 | 63.7 | 金屬 | 113.6 | 92.1 | M8*8 | 210 | 18 | 7.8 |
GVBB-SS-CF100-P | GB3E511 | 102 | 金屬 | 151.6 | 130.3 | M8*16 | 210 | 20 | 12.3 |
GVBB-SS-CF150-P | GB3F511 | 153 | 金屬 | 202.5 | 181 | M8*20 | 210 | 22 | 22.2 |
GVBB-SS-CF200-P | GB3G511 | 200 | 金屬 | 253.2 | 231.8 | M8*24 | 210 | 24 | 30.6 |
GVBB-SA-CF275-P | GB3H511 | 255 | 金屬 | 336.5 | 306.3 | M10*30 | 360 | 24 | 47.5 |
型號 | 料號 | A | B | C | D | E | F | G | H | L |
GVBB-SS-CF63-P | GB3C511 | 65 | 68 | 62 | 107 | 143 | 158 | 207 | 155 | 362 |
GVBB-SS-CF100-P | GB3E511 | 69.6 | 68 | 94 | 146 | 182 | 222 | 297 | 170 | 467 |
GVBB-SS-CF150-P | GB3F511 | 79 | 70 | 94 | 204 | 238 | 306.5 | 407 | 198 | 605 |
GVBB-SS-CF200-P | GB3G511 | 84.4 | 70 | 94 | 245 | 282 | 382 | 506 | 198 | 704 |
GVBB-SA-CF275-P | GB3H511 | 98 | 75 | 114 | 321 | 360 | 500 | 650 | 282.5 | 932.5 |
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